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Produktnr: TSI6X01

TSI6x01 AeroTrak Remote-Partikelzähler mit integrierter Pumpe und ISO 21501-4

Die TSI AeroTrak 6×01 Serie umfasst stationäre Remote-Partikelzähler für die kontinuierliche Überwachung von Reinräumen und sauberen Produktionsumgebungen. Die Modelle 6201, 6301 und 6501 arbeiten mit einer integrierten Pumpe und eignen sich dadurch besonders für Messstellen ohne externes Vakuumsystem.
  • Durchflussrate von 0,1 CFM beziehungsweise 2,83 l/min
  • Partikelgrößen ab 0,2 µm, 0,3 µm oder 0,5 µm
  • Fünf Jahre Garantie auf die Lasertechnologie
  • Integration in TSI-FMS- und übergeordnete Anlagenüberwachungssysteme
  • Drahtlose Kommunikation als Modelloption verfügbar
Details

Kontinuierliche Partikelüberwachung ohne externes Vakuumsystem

Die integrierte Carbon-Vane-Pumpe ermöglicht den stationären Betrieb auch an Standorten, an denen kein zentrales Vakuumsystem vorhanden ist. Bei einer erkannten Durchflussblockade wird die Pumpe automatisch gestoppt.

Durch die kompakte Bauform können die Remote-Partikelzähler bei veränderten Produktionslayouts oder neu positionierten Messstellen flexibel umgesetzt werden.

Sichere Datenerfassung und frühzeitige Trenderkennung

Die TSI AeroTrak 6×01 Remote-Partikelzähler speichern bis zu 250.000 Messwertaufzeichnungen. Zusätzlich zur einstellbaren Abtastzeit überwachen die Geräte den Partikeltrend parallel im Sekundentakt. Dadurch lassen sich ungünstige Veränderungen in der Produktionsumgebung frühzeitig erkennen.

Statusanzeigen informieren über Stromversorgung, Messbetrieb, Servicebedarf und Ethernet-Verbindung. Warnmeldungen unterstützen eine vorausschauende Gerätewartung.

Integration in Monitoring- und Produktionssysteme

Für die Kommunikation stehen Ethernet mit TCP/IP und Modbus RTU zur Verfügung. Je nach Ausführung sind außerdem WLAN sowie drei analoge 4–20-mA-Ausgänge verfügbar.

In Verbindung mit der TSI-FMS-Software können die Remote-Partikelzähler in Facility Monitoring Systems eingebunden werden. Über die OPC-UA-Client-/Server-Software ist auch der Datenaustausch mit weiteren Plattformen wie Manufacturing Execution Systems möglich.

Messung und Datenerfassung

Merkmal Technische Angabe
Messparameter Partikelkonzentration
Durchflussrate 0,1 CFM / 2,83 l/min
Konzentrationsgrenze 172.000.000 Partikel/m³ bei 10 % Koinzidenzverlust
Lichtquelle Laserdiode
Abtastfrequenz 1 Sekunde bis 24 Stunden
Datenspeicher 250.000 Messwertaufzeichnungen
Nullzählung < 1 Partikel in 5 Minuten bei 95 % UCL
Standards CE, JIS B9921, ISO 21501-4
Gebrauchstauglichkeit Nach ISO 14644-14 klassifiziert

Schnittstellen und Installation

Merkmal Technische Angabe
Kommunikation Ethernet TCP/IP, Modbus RTU
Drahtlose Kommunikation Optional
Analogausgang Optional: 3 × 4–20 mA
Stromversorgung PoE+ nach IEEE 802.3at oder 12–24 VDC
Konfiguration Über Standard-USB-C-Kabel
Gehäuse Edelstahl
Abmessungen 14,2 × 11,4 × 6,6 cm
Gewicht 1,05 kg
Einsatzbedingungen 10 bis 40 °C, 20 bis 95 % relative Feuchte, nicht kondensierend

Die TSI AeroTrak 6×01 Serie ist für die stationäre Partikelüberwachung in folgenden Bereichen vorgesehen:

  • Halbleiterfertigung
  • Elektronikfertigung
  • Luft- und Raumfahrt
  • Optische Fertigung
  • Automobilproduktion
  • Industrielle und saubere Fertigungsumgebungen

Das Modell 6201 ist insbesondere für Anwendungen in der Halbleiterfertigung ausgelegt. Die Modelle 6301 und 6501 decken durch ihre unterschiedlichen Partikelkanäle ein breiteres Spektrum industrieller Fertigungsanwendungen ab.

Modellübersicht

Modell Untere Partikelgröße Verfügbare Partikelkanäle Typische Anwendungen
AeroTrak+ 6201 0,2 µm 0,2 / 0,3 / 0,5 / 1,0 µm Halbleiterfertigung
AeroTrak+ 6301 0,3 µm 0,3 / 0,5 / 5,0 / 10,0 µm oder 0,3 / 0,5 / 1,0 / 5,0 / 10,0 / 25,0 µm Elektronik, Halbleiter, Luft- und Raumfahrt, Optik, Automobilbau
AeroTrak+ 6501 0,5 µm Unterschiedliche Konfigurationen mit Partikelgrößen bis 25,0 µm Elektronik, Halbleiter und industrielle Fertigung

Alle drei Varianten arbeiten mit einer Durchflussrate von 0,1 CFM beziehungsweise 2,83 l/min.

Die TSI AeroTrak 6×01 Remote-Partikelzähler erfüllen die Anforderungen der ISO 21501-4 und JIS B9921. Das angegebene Kalibrierintervall beträgt ein Jahr.

  • Kalibrierintervall: 12 Monate
  • Laser-Garantie: 5 Jahre
  • Geräte-Garantie: 2 Jahre

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